Vlastnosti produktu
Podpora viacerých verzií (PLC/PC) a rôznych bežných komunikačných protokolov;
Návrh a výroba vykonaná v súlade s bezpečnostným výrobným štandardom SEMI;
Vysoká kapacita dizajnu kanálov, UPH400 ~ 550ks;
Vhodné pre viacero rozmerov produktov a časopisov;
Patentovaný dizajn na úrovni plátku MFC, ktorý zabraňuje úniku plynu spôsobovať bezpečnostné nehody (podporuje vysoko-rizikové plyny, ako je vodík);
Patentovaný dizajn vysokej tesniacej komory, až 5pa;
Kontaktný uhol vody<10° (related to the material of product surface);
Dizajn štyroch kanálov pre simultánne spracovanie 4 produktov, s dvojitými spodnými elektródami, čo skracuje čas vstupu a výstupu dosky, výrazne zlepšuje efektivitu a zabezpečuje jednotnosť produktu pri spracovaní.
technické špecifikácie
|
Funkčná konfigurácia |
Technické parametre |
|
|
D׊×V(mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Vybavenie |
Čistá hmotnosť (kg) |
1000 |
|
Obvodová vzdialenosť (mm) |
600 vzadu, 600 na oboch stranách |
|
|
komora |
Objem (L) |
O 9 |
|
Kanál (čísla) |
4 |
|
|
Spodná elektróda (ks) |
2 (prechodová funkcia) |
|
|
Režim kŕmenia |
Časopis |
|
|
Adaptívny rozmer produktu (mm) |
Šírka:40-100 Dĺžka:150-300 |
|
|
elektróda |
Rozmery elektródy (mm) |
528×300 |
|
RF napájanie |
Štandardný výkon (kW) |
1 |
|
Frekvencia (MHZ) |
13.56 |
|
|
Ovládanie plynu |
Až tri kanály |
2 kanály (štandard), 3 kanály (voliteľné) |
|
Riadiaci systém |
Rozhranie človek-stroj |
PC + dotykový displej |
|
Vzdialené rozhranie |
Komunikácia |
Voliteľné |
|
Vákuová pumpa |
Voliteľné suché čerpadlo |
17CFM |
|
Voliteľné olejové čerpadlo |
195CFM |
|
|
Voliteľné suché čerpadlo s funkciou čistenia |
ÁNO |
|
|
Prietok preplachovania dusíkom (SLM) |
2 |
|
|
Čas vysávania (S) |
10月15日 |
|
|
Čas vákuového prerušenia (S) |
3-4 |
|
|
Továrenské zariadenia |
Napájanie |
Troj{0}}fázový 380V50/60Hz 4,5kW (olejové čerpadlo) |
|
Rozmer a typ procesu |
1/4 palca Swagelok |
|
|
Čistota procesného plynu |
Priemyselná trieda a vyššia |
|
|
Tlak procesného plynu (psig) |
10-20 |
|
|
Rozmer a typ preplachovacieho plynovodu |
1/4 palca Swagelok |
|
|
Čistota čistiaceho plynu |
Priemyselná trieda a vyššia |
|
|
Tlak čistiaceho plynu (psig) |
15 |
|
|
Rozmer a typ pneumatického |
10 mm zasúvacia-tvarovka |
|
|
Čistota pneumatického plynu |
Stlačený vzduch, bez oleja-, rosný bod Menej ako alebo rovný 7 stupňom, častice<5 |
|
|
Tlak pneumatického plynu (psig) |
70-90 |
|
|
Stlačený vzduch (mm) |
∅8 |
|
|
Súlad |
Certifikácia |
SEMI |
|
Doplnkové vybavenie |
Generátor dusíka (voliteľné) |
Voliteľné pre čistenie dusíkom |
|
Vodný chladič (voliteľné) |
Voliteľné pre chladenie elektród |
|
|
Vodíková súprava (voliteľné) |
Voliteľné pre úpravu vodíkom |
|
|
Procesor výfukových plynov (voliteľné) |
Voliteľné pre úpravu výfukových plynov fluórom |
|
|
Doprava |
Celková hmotnosť (kg) |
1050 |
|
Počet balení |
1 |
|
|
Balenie v súlade s normou SPM15 |
ÁNO |
|
Populárne Tagy: VP-10S automatický systém na vákuovú plazmovú úpravu, VP-10S automatický systém na vákuovú plazmovú úpravu